拼音：chèn dǐ zhī chēng zǔ jiàn

解釋：襯底支撐組件在處理室中支撐襯底。所述的襯底支撐組件具有：支撐塊，所述支撐塊具有電極;以及臂，用于在所述處理室中支持所述的支撐塊，所述的臂具有貫穿其中的通道。所述的臂具有固定到所述支撐塊的第一夾板以及固定到所述處理室的第二夾板。多個(gè)電導(dǎo)體穿過所述臂的所述通道，而陶瓷絕緣體處在所述的導(dǎo)體之間。